【新闻】新型半导体技术实现全球最微型LED，仅90纳米
20日，浙江大学发布消息，该校光电科学与工程学院/海宁国际联合学院狄大卫教授和赵保丹研究员团队，成功开发出微米和纳米级钙钛矿LED，其尺寸缩减过程仅导致轻微的性能下降。其中，最小尺寸仅为90纳米的纳米钙钛矿LED，成为目前公开报道的最小LED像素。相关研究成果已发表于《自然》期刊。
"尺寸缩减"在电子科学中特指缩小基本器件尺寸的过程。随着信息技术的进步，器件微型化成为科研人员追求的目标。狄大卫介绍，目前全球最先进的显示技术是基于Ⅲ-V族半导体的微型发光二极管，可实现超高清、超高精度的光电显示。但受限于复杂的工艺技术，微型发光二极管制造成本极高，当像素尺寸减小到约10微米或更小时，效率会急剧下降。
有源矩阵micro-PeLED微显示器呈现的图像，图片来源：浙江大学官网
从Ⅲ-V族半导体的微型发光二极管的微型化研究中获得启发，狄大卫团队开始研制用于未来显示技术的更小的钙钛矿LED，于2021年首次提出"微型钙钛矿LED"概念，并获得国家与国际专利。用传统光刻工艺制造微型钙钛矿LED会破坏钙钛矿材料，为此，研究团队设计出一套局域接触工艺，通过光刻制作的图案化窗口确保像素区域远离电极边缘，能够制造像素尺寸从数百微米到90纳米的钙钛矿LED，同时保证了LED的发光效率。
据了解，研究团队开发的微米和纳米钙钛矿LED在尺寸减小至约180纳米时才开始显现降尺寸效应，效率降低至最高值的50%。狄大卫表示，团队已与杭州领挚科技合作，制作了由TFT背板驱动的有源矩阵微米LED微显示器原型，能够呈现复杂图像和视频。微米和纳米钙钛矿LED在AR/VR显示等领域具有巨大应用潜力。
2025年3月24日 09:37
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